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*1 流量精度可低至2 SCCM，因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10^-3 Pa (A)条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4"的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT^® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 。

*1 Bin#14-15 的流量精度和重复性只保证 N2 校准气体。
*2 在 25℃ 和≤1.0 × 10^-3 pa (A) 条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI 标准 E17-1011章节 4.1.4"的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT^® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 。