低功耗的风冷干式真空泵 轻便紧凑型
无需冷却水，只需电力源。可配合单相100伏至240伏电源使用。

EBARA 低功耗的风冷干式真空泵 EV-PA 系列

EBARA 低功耗的风冷干式真空泵 EV-PA 系列

EV-PA 系列是 EBARA 荏原推出的低功耗风冷无油干式真空泵，整机无需冷却水，仅接入电源即可投入使用，适配单相 100–240V 宽电压，50/60Hz 工况下性能稳定，适合对洁净真空、便捷部署有需求的场景荏原製作所。该系列包含 EV-PA50、EV-PA250、EV-PA500 多款型号，抽速覆盖 50～500L/min，极限真空可达 0.5Pa，标配气镇阀，便于排出水汽等可凝性气体，适配多种轻负荷气体抽取需求.。

产品采用无接触转动结构，无油设计，可避免油返流污染真空腔体；密封件无需频繁更换，有助于降低维护频次。整机结构紧凑、自重较轻，最轻机型约 9.3kg，便于台面摆放或随设备迁移；运行噪音控制在 58dB (A) 左右，适合实验室、分析仪器等对环境噪音较为关注的场所EBARA。设备自带控制接口，支持远程监测，安装调试简便，即接即用。

该系列多用于各类分析检测仪器、扫描电镜、质谱设备、检漏系统，也可用于真空锁仓、真空脱气、小型真空吸附、表面分析等洁净真空工况，广泛服务于科研实验室、精密检测、电子相关配套领域，可适配 SEMI-S2、CE 等相关规范要求。

依托风冷方案，省去水冷配套管路，减少配套设施投入；低功耗设计，有助于控制长期使用能耗。设备适合持续稳定的轻负荷真空作业，可替代部分涡旋泵、油式真空泵，减少油污带来的洁净风险，帮助用户维持稳定洁净的真空环境，降低综合使用成本。