干式真空泵 紧凑型 风冷型号 EV-SA系列
是一系列风冷干式真空泵，设计紧凑，无需冷却水。紧凑型设计提供了更大的安装自由度，同时可实现高达5000升/分钟的高速排气。

干式真空泵 紧凑型 风冷型号 EV-SA系列

干式真空泵 紧凑型 风冷型号 EV-SA系列

EV-SA 系列是 EBARA 荏原推出的紧凑型风冷无油干式真空泵，采用无接触罗茨结构，无需配套冷却水，仅接入电源即可运行，安装布置灵活，适配洁净型轻负荷真空工况。该系列包含 EV‑SA20、EV‑SA30、EV‑SA50 型号，抽速覆盖 1670～5000L/min，极限真空低至 0.5Pa，自带气镇阀，可应对水汽等可凝性气体抽取需求，50Hz 与 60Hz 工况下性能保持一致。

整机为无油干式设计，运转过程不产生油雾返流，可减少腔体污染风险，满足洁净抽气需求。紧凑轻量化机身，占用空间较小；运行噪音水平适中，适合对环境噪音有要求的场所。产品具备较低的功耗表现，极限压力下运行功率约 0.45～0.5kW，长期使用有助于控制能耗成本。设备支持信号通讯接口，便于接入自动化系统实现状态监测，可匹配 SEMI‑S2、CE 等相关规范。

该机型多用于真空锁仓、各类分析仪器、电镜设备、精密量测设备，也可用于小型真空脱气、真空吸附等洁净工艺，广泛应用于实验室、精密检测、电子配套等领域。风冷方案省去水冷管路、循环水等配套设施，降低前期配套投入。转子非接触运转结构，可减少易损件损耗，维护工作量相对温和。

使用时适合抽取非反应性洁净气体，不适用含大量粉尘、强腐蚀介质的工况。选型可依据所需抽速、目标真空度匹配对应机型，搭配合适前置过滤装置，延长设备稳定运行周期，为用户提供稳定、洁净的真空供给方案。