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*1 请与我们联系有关支持的气体种类和发光率。
*2 在 25℃ 和 ≤1.0 × 10-3pa (A) 条件下的保证值。
*3 输出噪声包含在重复性中。
*4 设定时间为 MFC 输出信号，23℃ N2气。其他细节定义遵循“SEMI标准E17-1011章节4.1.4"的设定时间。
*5 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒 (±10 PSI/秒)。
*6“(TYP.)"值是内部验证时具有代表性的能力值。
*7 PFA 指聚 [四氟乙烯-共全氟，(烷基乙烯醚)]
*8 PCTFE 指聚氯三氟乙烯。
*9 安装完成后，务必参照《D707WR调零程序》进行零点调整。
*10 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国Beckhoff Automation GmbH。
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