干式真空泵ESA 适合大容量腔体中快速泵送
ESA模型产品线包括泵送速度在1,400至10,000升/分钟之间的型号，适合轻质气体如氢气的泵送;以及排气速度从20,000到80,000升/分钟的型号，适合在大容量腔室内快速泵送。轻气体应用型号的泵送速度为10,000升/分钟及以下，体积小且耐腐蚀性更佳，非常适合大容量轻气体泵送应用，如MO-CVD。较大型号实现安静、低振动运行，并可选配有机溶剂应用

干式真空泵ESA 适合大容量腔体中快速泵送

干式真空泵ESA 适合大容量腔体中快速泵送

ESA 系列是 EBARA 荏原开发的干式真空泵，针对轻质气体输送工况优化，可适配氢气这类轻质气体的抽取作业，同时满足大容量腔体快速抽气的使用需求。该系列包含多款机型，抽速覆盖范围广，可根据腔体容积、抽气时间要求选型匹配，适配不同规模工艺的真空供给。

产品采用干式无油结构，泵腔内部不使用工作润滑油，能够减少油气污染风险，维持真空环境洁净。针对氢气等轻质气体的压缩特性，转子结构经过优化，对轻气体拥有较好的抽气与压缩表现，适配氢气相关工艺的抽排需求。整机支持风冷、水冷两种散热方案，可结合现场供水条件灵活选择安装形式；设备运行振动、噪音控制适中，配套监测通讯接口，便于接入自动化控制系统，实时查看运行状态。

该系列适合大容量真空腔体的快速抽气场景，常见应用包含氢气氛热处理、氢等离子工艺、气体回收、真空反应腔体、材料制备、光伏及氢能相关试验装置，也可用于化工、科研领域内不含大量粉尘、强腐蚀组分的轻质气体抽取工序。

设备运行稳定，连续作业能力良好，维护项目集中在密封件、过滤组件等常规易损件，便于开展周期性保养。使用时需要配套合适的前置过滤装置，阻挡颗粒物进入泵体；针对氢气工况，管路与配套系统需同步满足对应安全规范，做好管路检漏与风险管控。

ESA 系列兼顾大抽速、洁净无油、适配轻质气体的特性，在需要快速对大容积腔体建立真空、介质包含氢气的场景中适用性突出，为氢能试验、热处理、真空工艺等场景提供可靠的真空输送方案。

ESA系列规格参数