超高真空涡轮分子泵 EMT EBT
适用于从340到4,200升/分钟的广泛排气速度范围。提供集成控制器类型和风冷/水冷类型。

超高真空涡轮分子泵 EMT EBT

超高真空涡轮分子泵 EMT EBT

EMT、EBT 是 EBARA 荏原推出的复合式涡轮分子泵，面向超高真空工况，两个系列采用不同轴承方案，适配多样化的洁净真空需求。EBT 为陶瓷轴承版本，抽速覆盖 70～2400L/s，支持多姿态安装，结构稳固；EMT 采用五轴磁悬浮轴承结构，抽速区间 340～2400L/s，振动水平低，可提供无碳氢污染的真空环境，两个系列均可选风冷、水冷散热形式，也可选用集成控制器款式，适配不同现场布置条件。

泵体采用复合转子结构，对轻气体具备较好的压缩能力，可承受少量突发进气冲击，前级耐受压力表现良好；EMT 可提供耐腐蚀涂层、耐辐射、低振动等定制选项，适配有轻度腐蚀性气体的工艺；EBT 结构简洁，维护友好，具备不错的性价比，适合常规高真空、移动真空平台场景。整机自带通讯接口，便于接入设备控制系统，实现运行状态采集与监测，符合相关行业规范要求。

该产品多用于扫描电镜、光电子能谱等分析仪器、束线装置、薄膜镀膜、晶圆键合、MEMS 微加工、光伏及半导体相关工艺。EMT 更适合对洁净度、振动控制要求较高的精密制程；EBT 多用于实验室、移动真空小车、常规镀膜等场景。

使用时需搭配适配前级真空泵，进气端建议配置过滤装置，阻挡颗粒物进入泵体。泵内无润滑油，可规避油返流污染腔体，为工艺和检测环节提供稳定洁净的超高真空环境，适配科研、精密制造领域长期连续运行的使用需求。