干式真空泵EV-A10 紧凑型 风冷车型
非常适合在大气压下泵送性能。紧凑型风冷车型。

干式真空泵EV-A10 紧凑型 风冷车型

干式真空泵EV-A10 紧凑型 风冷车型

EV-A10 是 EBARA 荏原推出的紧凑型风冷无油干式真空泵，采用多级非接触罗茨结构，无需冷却水配套，仅接入电源即可投入运行，适合需要反复从大气开始抽气的洁净真空工况。该机型抽速可达 1000L/min，气镇关闭时极限压力 1.0Pa，开启气镇后极限压力 2.0Pa，水蒸气处理能力 500g/h，吸气、排气接口规格 NW40，支持单相 / 三相 200V 供电，50Hz、60Hz 工况下性能稳定，极限压力运行功率 1.1kW，整机重量 75kg，结构紧凑，占用空间较小ebara-tep....。

设备为无油干式结构，泵腔内部不使用润滑油，能够减少油气返流带来的腔体污染风险。标配气镇阀，便于处理工艺中的水汽，降低泵腔内部凝露影响；整机运行噪音、振动控制良好，适配对车间环境有要求的场所，同时支持 SEMI‑S2、CE、NRTL 相关规范，具备通讯接口，方便接入自动化系统，实现设备状态监测。

依托风冷散热设计，省去水冷管路、冷水机等配套设施，降低现场布置难度与配套投入，部署灵活，可用于设备内置安装。产品适合抽取洁净、非反应性气体，多用于真空锁仓预抽、各类分析检测仪器、氦检系统、小型镀膜、等离子处理、真空脱气等工序，在半导体配套、新材料、科研实验室等领域应用较多。

使用时建议在进气端搭配前置过滤装置，阻挡粉尘、颗粒进入泵体，维持长期稳定运行。该机型适合轻负荷洁净抽气场景，不适合大量粉尘、强腐蚀介质的持续抽取。稳定的大气段抽气能力、低维护需求，能够帮助用户获得洁净真空环境，控制长期使用成本。