一、产品定位

5225 AeroBar 离子除电器是专为半导体等超洁净工艺设备内部场景设计的条形除电器，核心用于解决洁净环境中的静电消除问题，保障晶圆等精密元件在生产过程中免受静电干扰与粒子污染，满足半导体制造等高要求工艺的静电管控标准。

二、核心产品特点

1. 超低污染单晶硅电极：采用在范围内拥有应用实绩的单晶硅电极，不仅具备超低粒子释放特性，还能从根源上规避电极材料导致的金属污染风险，适配半导体工艺对“"的严苛要求。
2. 广范围除电能力：通过脉冲DC（直流）方式实现静电消除，可覆盖更广泛的除电区域，快速中和目标表面的静电荷，提升除电效率。
3. 全数字稳定控制：搭载全数字控制回路，能稳定生成离子并维持长期离子平衡，避免因控制精度不足导致的除电效果波动，保障工艺稳定性。
4. 灵活离子平衡反馈：支持两种离子平衡控制模式：
   • 可选配5200-SR外部传感器，直接对“除电目标附近"而非除电器本体的离子平衡进行反馈控制，精准匹配实际除电需求；
   • 未连接外部传感器时，除电器本体内置传感器会自动调节离子平衡，无需手动干预。
5. 适配半导体EFEM尺寸：提供与半导体前工程用EFEM（设备前端模块）适配的条形长度，无需额外改造即可集成到现有设备中，降低安装成本。
6. 多场景参数可调：离子发生输出、离子发生时间、报警阈值等核心参数可在宽范围内自定义设置，能灵活应对长距离除电、弱气流等特殊环境需求。
7. 快速便捷调试：仅需通过数值输入即可完成参数设置，不仅能获得高再现性的除电效果，还能大幅缩短设备调试时间，提升生产准备效率。
8. 实时状态监控：除基础报警IO接口外，可通过免费提供的DLL（动态链接库）实现实时监控功能，帮助工作人员实时掌握工艺设备内的除电状态，及时发现异常。

三、详细规格参数

（一）5225 AeroBar 除电器本体

（二）5200-IM6T 接口模块（配套使用）