真空棒（真空镊子）和真空泵 真空棒是一种用来牢固抓住和固定精致微型物体的工具，而不需要用手触碰它。（吸气力不像吸尘器！） 这意味着物体没有受损。连接在真空棒本体的真空泵提供吸力。

FLUORO晶圆搬运真空棒 日本 Fluoro Mechanic（福乐）**，半导体无尘工位专用手动晶圆拾取工具，需要搭配 FV 系列真空泵使用，就是前面说的那套真空系统的手持主体

无油隔膜真空泵 F-60 日本 Fluoro Mechanic，半导体无尘室专用，是搭配前面晶圆真空棒（真空吸笔）的高真空负压源，主打适配 8 寸、12 寸晶圆搬运

ESD 真空吸笔 日本Fluoro Mechanic ESD**真空吸笔C001/2/3-Y-90-CP